本標(biāo)準(zhǔn)適用于符合GB/T12964,GB/T12965,GB/T14139規(guī)定的尺寸的硅片的厚度和總厚度變化的測量。在測試儀器允許的情況下，本標(biāo)準(zhǔn)也可用于其他規(guī)格硅片的厚度和總厚度變化的測量。